服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
25
2026-08
星期 二
-
广州多层磁控溅射分类 广东省科学院半导体研究所供应
磁控溅射加工是一种用于制备功能性薄膜的加工方式，应用于微纳米器件和集成电路领域。该加工过程基于入射粒子与靶材碰撞产生溅射粒子的原理，通过精确控制溅射参数，实现对薄膜厚度、成分及结构的准确调控。磁控溅射加工设备结构相对简洁，能够在较
-
25
2026-08
星期 二
-
广州直流磁控溅射 广东省科学院半导体研究所供应
研究所对磁控溅射的等离子体调控机制开展了系统性研究，开发了基于辉光光谱的实时反馈控制系统。该系统首先通过测试靶材的纵向沉积膜厚度分布，预调整磁芯磁场强度分布以获得预设离子浓度；溅射过程中则实时监测靶材表面离子与气体离子的比例关系，
-
24
2026-08
星期 一
-
广州射频磁控溅射步骤 广东省科学院半导体研究所供应
广东省科学院半导体研究所在磁控溅射技术的极性调控领域取得突破，其开发的双向脉冲双靶闭合式非平衡磁控溅射系统独具特色。该系统将两个磁控靶连接于同一脉冲电源，通过周期性变换靶材极性，使两靶交替充当阴极与阳极——阴极靶执行溅射沉积的同时
-
24
2026-08
星期 一
-
广州射频磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
低温磁控溅射工艺开发针对那些对基板热敏感或需避免高温对材料性能影响的应用场景而设计。这种工艺通过调控基板加热温度和溅射参数，实现薄膜在较低温度下的高质量沉积。低温条件下，溅射过程中入射粒子与靶材原子的碰撞依旧发生，形成级联溅射效应
-
24
2026-08
星期 一
-
广州金属磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，其工艺参数对沉积薄膜的影响主要包括以下几个方面：1.溅射功率：溅射功率是指磁控溅射过程中靶材表面被轰击的能量大小，它直接影响到薄膜的沉积速率和质量。通常情况下，溅射功率越大，沉积速率越快，但同时也
推荐资讯