新闻中心
您当前的位置:首页 > 新闻中心
-
17
2025-08
星期
-
广州真空镀膜厂 广东省科学院半导体研究所供应
介质薄膜是重要的半导体薄膜之一。它可用作电路间的绝缘层,掩蔽半导体主要元件的相互扩散和漏电现象,从而进一步改善半导体操作性能的可靠性;它还可用作保护膜,在半导体制程的环节生成保护膜,保护芯片不受外部冲击;或用作隔离膜,在堆叠一层层
-
17
2025-08
星期
-
广州电子束蒸发真空镀膜 广东省科学院半导体研究所供应
热氧化是在一定的温度和气体条件下,使硅片表面氧化一定厚度的氧化硅的。主要有干法氧化和湿法氧化,干法氧化是在硅片表面通入氧气,硅片与氧化反应生成氧化硅,氧化速率比较慢,氧化膜厚容易控制。湿法氧化在炉管当中通入氧气和氢气,两者反应生长
-
16
2025-08
星期 六
-
广州PVD真空镀膜 广东省科学院半导体研究所供应
电子束蒸发法是真空蒸发镀膜中一种常用的方法,是在高真空条件下利用电子束激发进行直接加热蒸发材料,是使蒸发材料由固体转变为气化并向衬底输运,在基底上凝结形成薄膜的方法。在电子束加热装置中,被加热的材料放置于底部有循环水冷的坩埚当中,
-
16
2025-08
星期 六
-
广州硅材料刻蚀价钱 广东省科学院半导体研究所供应
微流体器件是指用于实现微小液体或气体的输送、控制和分析的器件,如微阀门、微混合器、微反应器等。深硅刻蚀设备在这些微流体器件中主要用于形成微通道、微孔洞、微隔膜等。光学开关是指用于实现光信号的开关或路由的器件,如数字光处理(DLP)
-
16
2025-08
星期 六
-
广州氧化硅材料刻蚀价格 广东省科学院半导体研究所供应
深硅刻蚀设备的关键硬件包括等离子体源、反应室、电极、温控系统、真空系统、气体供给系统和控制系统等。等离子体源是产生高密度等离子体的装置,常用的有感应耦合等离子体(ICP)源和电容耦合等离子体(CCP)源。ICP源利用射频电磁场激发

